Dispositifs et instrumentation pour l'analyse et la préparation de surfaces
INSTRUMENTATION
MECANIQUE HV/UHV
SYSTEME HV/UHV
Conception, fabrication, installation et mise en service de systèmes à vide et Ultra-Vide sur-mesure
  • Système vide et ultra-vide
  • Enceintes à vide (Ø 100 mm à Ø 800 mm)
  • Manipulateurs (jusqu'à 5 axes/120K-1200K/Polarisables)
  • Composants (Tables de translation X,Y,Z/Orienteurs/Entretoises/Soufflets anti-vibratoire/Mesureurs d'épaisseurs)
Distribution de dispositifs et d'instruments pour la préparation et l'analyse de surfaces
  • Distributeur de FOCUS (Evaporateurs e-Beam/Sources ioniques/Sources VUV/PEEM/Détecteur de spin/Stations de microsoudures sous ultra-vide par faisceaux d'électrons et laser)
  • Distributeur de MANTIS (Systèmes de dépôts de couches minces/Evaporateurs résistifs et e-Beam/Sources magnétrons et plasma/Cracker de gaz/Sources ioniques/Sas d'introduction/Electronique/Automate)
  • Distributeur de BIHURCRYSTAL (Echantillons de surfaces vicinales multi-domaines/Cellule d'injection liquide sous vide)
  • Distributeur AML (Mesure du vide/Moteur pas-à-pas UHV/Mécanismes de motorisation sous vide)
  • Distributeur NANOMAGNETICS INSTRUMENT (Microscope AFM et STM/Systèmes de mesure par effet Hall)
  • Distributeur μMash (Pointes AFM)
  • Distributeur de MINUSK (Tables anti-vibratoire)